產(chǎn)品說明
ZMI-2002 8020-0211-1-J
ZMI-2002 8020-0211-1-J是一款專為高精度位移和角度測量設(shè)計的雙軸測量板,適用于精密機械、半導體設(shè)備、光學設(shè)備、運動控制和自動化系統(tǒng)等領(lǐng)域。該產(chǎn)品采用先進的干涉測量技術(shù),能夠提供精確和可靠的測量結(jié)果。
產(chǎn)品參數(shù)
測量軸數(shù):雙軸
分辨率:小于1納米(<1 nm)
精度:±0.1微米(0.1μm)
工作溫度:0°C至+40°C
保護等級:IP54
尺寸:229 x 114 x 29 mm
重量:1.2 kg
光源:633 nm激光
傳感器:CMOS陣列
測量范圍:X軸:50 mm,Y軸:25 mm。
產(chǎn)品規(guī)格
型號:ZMI-2002 8020-0211-1-J
品牌:ZYGO
系列:ZMI-2000
接口類型:6U VME接口
工作電壓:220VAC
工作頻率:50Hz
最大功率:2000W
工作溫度范圍:-20℃到50℃。
系列與特征
ZMI-2002 8020-0211-1-J屬于ZYGO公司的ZMI系列,該系列專注于納米位置傳感器和位移測量干涉儀。其主要特征包括:
高精度和穩(wěn)定性
雙軸測量功能
高采樣率和寬輸入范圍
支持多種通信接口,如USB、以太網(wǎng)、RS485等。
特征與作用
該測量板具有高精度、高可靠性的特點,適用于需要高精度測量的應(yīng)用場景。其雙軸設(shè)計和6U VME接口使其能夠提供精確的測量結(jié)果,并簡化了與伺服卡或電機控制器的連接。
用途與應(yīng)用領(lǐng)域
ZMI-2002 8020-0211-1-J廣泛應(yīng)用于光學、半導體、精密制造等領(lǐng)域,用于測量各種光學元件和表面的形貌、輪廓等參數(shù)。此外,它也適用于工業(yè)自動化、質(zhì)量控制和科研測試等領(lǐng)域。