產(chǎn)品說明：

LAM 853-150806-001是一款高精度光譜儀模塊，主要用于半導體制造設備中材料組成測量及控制。該模塊屬于ASM,EIOC CONTA MINI系列，設計用于精確控制半導體制造過程中的關鍵參數(shù)。

產(chǎn)品參數(shù)：

型號：853-150806-001

適用晶圓尺寸：8英寸。

工作電壓：220V。

輸出頻率：50kHz。

尺寸：100mm x 100mm x 10mm。

重量：約1kg。

材質：陶瓷。

認證：CE,WEEE。

產(chǎn)品規(guī)格：

功能：光源照射、樣品室檢測、測量材料組成。

技術特點：高精度、高效率、高可靠性，采用成熟技術確保設備穩(wěn)定運行。

應用工藝：RIE（反應離子刻蝕）、ICP（感應耦合等離子體）。

系列：

該產(chǎn)品屬于ASM,EIOC CONTA MINI系列。

特征：

高精度：適用于精密測量和控制半導體制造過程中的關鍵參數(shù)。

高性能信號處理：先進的信號處理技術保證了設備在長時間運行中的穩(wěn)定性和可靠性。

緊湊設計：體積小巧，便于集成到現(xiàn)有系統(tǒng)中。

耐用性：采用高質量材料制造，能夠在工業(yè)條件下長期穩(wěn)定運行。

作用：

LAM 853-150806-001的主要作用是測量半導體材料的組成，并通過精確控制工藝參數(shù)來優(yōu)化生產(chǎn)效率和產(chǎn)品質量。

用途：

該產(chǎn)品廣泛應用于半導體制造設備中，包括集成電路、功率器件、光電器件、MEMS器件等的生產(chǎn)。

應用領域：

LAM 853-150806-001主要應用于半導體制造行業(yè)，特別是在需要高精度材料組成測量和控制的場景中。